Investigation of micro-stress at Si/SiO₂ interface using infrared spectroscopy
| Autor: | Hafshejani, T. M. / Königer, F. / Wohlgemuth, J. / Fu, Z. / König-Edel, M. / Schwotzer, M. / Thissen, P. (2019) |
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| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Fachverband Oberflächenphysik (2019), Regensburg, Deutschland, 31.03.2019 – 05.04.2019 |
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| Datum: | April 2019 | ||
