Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung

Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung
chair:

Gliemann, H. / Pancera, S.M. / Shimmel, Th.  (2008)

place: German patent, DE102007007719A1

Date: 2008

Gliemann, H. / Pancera, S.M. / Shimmel, Th.  (2008): Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung. German patent, DE102007007719A1