Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung

  • Autor:

    Gliemann, H. / Pancera, S.M. / Shimmel, Th.  (2008)

  • Quelle: German patent, DE102007007719A1

  • Datum: 2008
  • Gliemann, H. / Pancera, S.M. / Shimmel, Th.  (2008): Methode zur Mikro- und Nanostrukturierung. German patent, DE102007007719A1