Verfahren zur Strukturierung einer Schicht auf einem Substrat

  • Autor:

    Gliemann, H. / Montero-Pancera, S. / Schimmel, T. (2010)
  • Quelle:

    DE-OS 10 2007 007 719  (2008.08.21) / EP-OS 1 959 298 (2008.08.20) / EP-PS 1 959 298 (2010.06.16)

  • Datum: 2010

  • Gliemann, H. / Montero-Pancera, S. / Schimmel, T. (2010): Verfahren zur Strukturierung einer Schicht auf einem Substrat, DE-OS 10 2007 007 719  (2008.08.21) / EP-OS 1 959 298 (2008.08.20) / EP-PS 1 959 298 (2010.06.16)